高溫霍爾效應(yīng)測(cè)試儀主要用于測(cè)量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)、導(dǎo)電類型等重要參數(shù),而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必須預(yù)先掌控的,因此高溫霍爾效應(yīng)測(cè)試儀是理解和研究半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體材料電學(xué)特性不可少的工具。
霍爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)主要由恒電流源、范德堡法則終端轉(zhuǎn)換器、低溫(77K)測(cè)量系統(tǒng)及磁場(chǎng)強(qiáng)度輸入系統(tǒng)組成,擁有研究半導(dǎo)體材料霍爾效應(yīng)所有的部件和配置,是一套非常成熟的儀器系統(tǒng)?! ?產(chǎn)品特點(diǎn):
1、可靠的精度及重現(xiàn)性
恒電流源(1nA~20mA)采用六級(jí)電流范圍設(shè)置,將可以接收的誤差降到較低;范德堡法則轉(zhuǎn)換使用非接觸裝置有效降低儀器噪聲;軟硬件有針對(duì)性的設(shè)計(jì),確保每個(gè)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)均為多次測(cè)試的平均值,使儀器擁有非常好的數(shù)據(jù)重現(xiàn)性。
2、高溫霍爾效應(yīng)測(cè)試儀小型化及操作簡(jiǎn)單化
小尺寸的磁場(chǎng)強(qiáng)度輸入系統(tǒng)使用永磁體和液氮低溫測(cè)量系統(tǒng)(77K),確保儀器操作非常簡(jiǎn)單;兩種不同尺寸的傳統(tǒng)樣品板(20*20mm、6*6mm)及帶彈簧夾片的樣品板(SPCB),使得不同尺寸不同材料的薄膜樣品更容易測(cè)量,區(qū)別于傳統(tǒng)樣品板的彈簧夾片樣品板使得霍爾電極制作更方便且對(duì)樣品損傷更小。
3、I-V曲線及I-R曲線測(cè)量
采用圖表的方式,測(cè)量探針?biāo)狞c(diǎn)(A、B、C、D)間電流-電壓及電流-電阻關(guān)系,并以此評(píng)判樣品的歐姆接觸好壞、了解樣品的基本的電學(xué)特性。
4、多樣的實(shí)驗(yàn)結(jié)果
高溫霍爾效應(yīng)測(cè)試儀實(shí)驗(yàn)結(jié)果由軟件自動(dòng)計(jì)算得到,可同時(shí)得到體載流子濃度、表面載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)、磁致電阻、電阻的縱橫比率等等。