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  • 原子層沉積系統(tǒng)

    原子層沉積系統(tǒng),包括:傳統(tǒng)的熱原子層沉積系統(tǒng)(TALD)、等離子增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)(PEALD)、粉末樣品的原子層沉積系統(tǒng)(Power-ALD)。

    更新時(shí)間:2020-11-01

    廠商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商

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