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原子層沉積系統(tǒng)，包括：傳統(tǒng)的熱原子層沉積系統(tǒng)（TALD）、等離子增強原子層沉積系統(tǒng)（PEALD）、粉末樣品的原子層沉積系統(tǒng)（Power-ALD）。