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WEP CVP21電化學(xué)C-V剖面濃度測量儀 德國WEP公司的CVP21電化學(xué)C-V剖面濃度測試儀可高效、準(zhǔn)確的測量半導(dǎo)體材料(結(jié)構(gòu),層)中的摻雜濃度分布。選用合適的電解液與材料接觸、腐蝕,從而得到材料的摻雜濃度分布。電容值電壓掃描和腐蝕過程由軟件全自動控制。 電化學(xué)ECV剖面濃度測試儀主要用于半導(dǎo)體材料的研究及開發(fā),其原理是使用電化學(xué)電容-電壓法來測量半導(dǎo)體材料的摻雜濃度分布。電化學(xué)ECV(
更新時間:2020-11-01
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