ETCP-2000低溫探針臺

真空探針臺，溫控范圍：80K~573K，大樣品尺寸：4英寸，高性價比。

技術(shù)規(guī)格：

• 載物盤
• 載物盤直徑：100mm (4inch)；
• 載物盤移動范圍：±20mm (X軸)，±20mm (Y軸)；
• 載物盤溫度：80K ~ 350K；

• 探針座
• 探針調(diào)節(jié)分辨率：12um ± 2um；
• 探針移動范圍：6mm(X軸) x 20mm(Y軸) x 6mm(Z軸)；
• 標(biāo)配4套針座，同軸BNC纜線；

• 腔體
• 腔體形狀：圓柱體真空腔，頂部開門；
• 腔體尺寸：370mm (外徑) x 230mm(高)；
• 極限真空：8 x 10-3 Torr；

• 顯微鏡
• Zoom連續(xù)縮放顯微鏡，物鏡倍率：0.63~5X，F(xiàn)OV視場：20.5mm~2.5mm；
• 2X適配器；
• 工作距離：95mm~130mm；
• 照明：LED環(huán)形燈照明；

• 探針臺尺寸重量
• 尺寸：80cm(寬) x 80cm(深) x 70cm(高)；
• 重量：約150Kg；

• 選配項
• 真空規(guī)；
• 真空泵；
• 隔振臺；
• 探針座；
• 真空連通，電學(xué)連通；